ウエハ表面プラズマ活性化装置
発注: 国立大学法人横浜国立大学このページの目次
案件情報
- 発注機関
- 国立大学法人横浜国立大学
- 部署
- 財務部経理課契約第一係
- 地域 (都道府県)
- 神奈川県 (神奈川県 の一覧へ)
- 地域 (詳細)
- 横浜市保土ケ谷区常盤台79-1
- 入札種別
- 見積(オープンカウンター)
- カテゴリ
- 情報通信関連物品 (IT・システム の一覧へ)
- 公示日
- 締切日時
- 17:00
- 開札日
- —
- 予算
- —
案件概要
【案件概要】
国立大学法人横浜国立大学がウエハ表面プラズマ活性化装置の導入に向けた資料提供招請を実施。本案件は物品の購入等を予定しており、令和9年9月の導入予定時期に向けて供給者からの参考資料及びコメントを募集している。神奈川県横浜市に所在する大学による調達である。
【業務内容】
- φ12インチウエハおよびφ12インチウエハ用ダイシングフレームに対応する
2系統のロードポートおよびチャンバーの備え
- 各チャンバーに2つ以上のプラズマ源の搭載
- プラズマ源の独立操作および同時印可機能の実装
- 導入計画物品に関する一般的な参考資料及び要求要件に関するコメント提供
- 提供可能なライブラリーに関する資料提供
【応募要件】
本公告には参加資格要件の明記がなし
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入札方式: 見積(オープンカウンター) とは
発注機関が事前に仕様を公開し、参加可能な事業者から簡易な見積を受け付けて契約相手を決める方式。手続きが簡素で、少額の備品調達や役務契約で多く利用される。
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発注機関について
「国立大学法人横浜国立大学」は 神奈川県 に拠点を置く 国の機関 (国公立大学) に分類される発注機関です。
- 機関名
- 国立大学法人横浜国立大学
- 機関タイプ
- 国公立大学